机译:反应射频磁控溅射沉积锶钽基钙钛矿型氮氧化物薄膜的铁电和介电研究
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机译:磁控溅射沉积氧氮化钽TaOxNy薄膜的多相结构
机译:反应磁控溅射沉积氧氮化钽薄膜的光学和机械性能
机译:射频磁控溅射沉积氧氮化硅薄膜的光学性质研究
机译:原位光谱椭圆偏振法研究直流反应磁控溅射沉积的硅膜的结晶度和界面结构。
机译:反应磁控溅射沉积TiO2薄膜的光催化性能的途径
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